Varian 969-8904 Manuel utilisateur

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MODE D’EMPLOI

7 87-900-983-01(B)

Normes de sécurité

pour

Pompe Turbomoléculaires

Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une

énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique

de leurs rotors.

En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou

d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.

,

DANGER!

Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux

opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation

décrites dans ce manuel !

MODE D’EMPLOI

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INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profession-

nelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisa-

teur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute

autre indication supplémentaire fournie par Varian qui décline par

conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou

partiel des instructions données, d'utilisation impropre par un per-

sonnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contrai-

re aux réglementations nationales spécifiques.

Les pompes de la série Turbo-V 81-M sont des pompes turbo-

moléculaires pour des applications de vide poussé et ultra-

poussé en mesure de pomper n’importe quel type de gaz ou de

composé non corrosif. Elles ne sont pas adaptées au pompage

de liquides ou de particules solides.

L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à

vitesse élevée (80000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique

triphasé à haut rendement. Le Turbo-V 81-M est totalement

exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour

toutes les applications exigeant un vide "propre".

Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications néces-

saires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de

l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans

l'appendice "Technical Information".

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

,

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur

une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de

façon impropre, risque de provoquer de graves lésions

 ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines

procédures dont le non respect pourrait endommager

sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo-

lés du texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des

pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res-

pecter les instructions suivantes :

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,

doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am-

biantes suivantes:

• température : de –20 °C à +70 °C

• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires

doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est

de 10 mois à compter de la date d'expédition.

 ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit

être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le

représentant Varian de zone.

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

Le Turbo-V 81-M est livré dans un emballage de protection spé-

cial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être pro-

duit pendant le transport, contacter le bureau de vente local.

Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par-

ticulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire

subir aucun choc et aucune vibration.

Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399

en matière de protection de l'environnement.

 ATTENTION!

Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à

mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre

toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

La pompe ne peut s'endommager en restant simplement expo-

sé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à

la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage

clos jusqu'au moment de l'installation.

INSTALLATION

 ATTENTION!

Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection

qu'au moment de brancher la turbopompe au système.

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-

sés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la pous-

sière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou

à fort risque d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les

conditions environnementales suivantes:

- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

- température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans

"Technical Information")

- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-

tégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne-

ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information".

Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 81-M doi-

vent être utilisées uniquement avec un des contrôleurs prévus

Varian et doivent être reliées à une pompe primaire (voir le

schéma sur "Technical Information").

MODE D’EMPLOI

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Les contrôleurs disponibles sont les suivants:

- Rack controller 81-AG: 969-8988

- Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989

- Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990

- PCB 24 V 969-9538

Le Turbo-V 81-M peut être installée dans n'importe quelle posi-

tion. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée

de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un

couple de serrage de 1000 Nm autour de son axe Par exemple le

flasque ISO 63 peut être fixé à l'aide de brides en acier à haute

résistance (comme le modèle Varian IC 63250 DCMZ).

Le tableau suivant indique, pour chaque dimension de flasque,

le nombre de brides nécessaires et le couple de fixation

correspondant.

BRIDE TYPE DE

COLLIER

N. COUPLE DE

SERRAGE

Collier double à file-

tage M10

4 22 Nm ISO 63

Collier simple à file-

tage M8

4 11 Nm

La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la

chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré-

vus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice

"Technical Information".

NOTE

Le Turbo-V 81-M ne peut être fixé par sa base.

 ATTENTION!

Le Turbo-V 81-M appartient à la deuxième catégorie d'installa-

tions (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce

fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible

avec cette catégorie.

Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à

"Technical Information".

UTILIZATION

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbo

pompe sont contenues dans le manuel de l’unité de contrôle. Lire

attentivement ce manuel avant l’emploi.

Pour atteindre des pressions limites meilleures, on peut chauffer le

système.

Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la tempé-

rature sur la collerette d’entrée ne doit pas être supérieure à

120 °C avec collerette ConFlat et à 80 °C avec collerette ISO.

Utiliser toujours le refroidissement à eau pendant les opérations

de chauffage.

,

DANGER!

Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est

pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec

la bride de fermeture.

Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires

éventuels pendant les opérations de chauffage. La température

élevée peut être à l'origine de lésions graves.

 ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou

déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer.

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du

gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression

d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure

à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique).

Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées

d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de four-

nir à la pompe un flux de gaz inerte (Azote ou Hélium) pour

protéger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").

,

DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-

ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-

ques de chaque gaz.

Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

ENTRETIEN

Les pompes de la série Turbo-V 81-M ne demandent aucun entre-

tien. Toute intervention doit être effectuée par un personnel

agréé.

,

DANGER!

Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler

l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,

attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la

température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répa-

rations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui

permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du

système endommagé.

NOTE

Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation

ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au

bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe

au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de-

vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina-

tion conformément aux réglementations nationales concernant

la gestion des déchets.

MISE AU REBUT

Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes

Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la direc-

tive CE nommée "WEEE".

Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Com-

munauté européenne) indique que le produit sur lequel il est

appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures mé-

nagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par

un système de collecte sélective.

Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,

l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du

dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le

processus de collecte et mise au rebut.

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