Converters.TV 702 Manuel utilisateur

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Contents

6/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Entsorgung 38

3 Mode d’emploi 39

Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 40

Indications Generales 41

Stockage 42

Preparation pour l'installation 43

Installation 44

Fixation de la pompe 45

Utilisation 47

Entretien 49

Mise au rebut 50

4 Manual de istrucciones 51

Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 52

Información general 53

Almacenamiento 54

Preparación para la instalación 55

Instalación 56

Fijación de la bomba 57

Uso 59

Mantenimiento 61

Eliminación 62

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TV 702 SEM User Manual

39/270

3

Mode d’emploi

Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 40

Indications Generales 41

Stockage 42

Preparation pour l'installation 43

Installation 44

Fixation de la pompe 45

Utilisation 47

Mise en marche et utilisation de la TV 702 SEM 48

Arrêt de la TV 702 SEM 48

Arrêt d'urgence 49

Entretien 49

Mise au rebut 50

Traduction de la

mode d’emploi originale

3

Mode d’emploi

Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires

40/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires

Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel

d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la

grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs

rotors.

En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre

rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation

pourrait être libérée.

A

VERTISSEMENT!

Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux

opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation

décrites dans ce manuel !

Mode d’emploi

Indications Generales

3

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 41/270

Indications Generales

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle.

Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de

lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre

indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par

conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou partiel

des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel

non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux

réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série

TV 702 SEM sont pompes turbomoléculaires pour des applications

de vide poussé et ultrapoussé. Le système est à même de pomper tous

les types de gaz et de composés gazeux mais il n'est pas adapté au

pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est

obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (42000 tr/min

maxi), mue par un moteur électrique triphasé à haut rendement. La

TV 702 SEM est totalement exempte d'agents polluants et elle est par

conséquent indiquée pour toutes les applications exigeant un vide

"propre". Elleest en outre dotée de connecteurs auxiliaires

permettant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de

commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à l'aide

d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle. Les paragraphes

suivants fournissent toutes les indications nécessaires à garantir la

sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des

renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical

Information".

3

Mode d’emploi

Stockage

42/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

A

VERTISSEMENT!

Les messages d'avertissement attirent l'attention de l’opérateur sur une

procédure ou une manœuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée

correctement, risque de provoquer de graves lésions.

ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles

ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte.

Stockage

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes

turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les

instructions suivantes :

 Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent

impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes

suivantes:

 température : de –20 °C à +70 °C

 humidité relative : de 0 à 95 % (non condensante)

 A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent

toujours être mises en marche en mode soft-Start.

 Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10

mois à compter de la date d'expédition.

Mode d’emploi

Preparation pour l'installation

3

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 43/270

ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en

usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Agilent de zone.

Preparation pour l'installation

La TV 702 SEM est livrée dans un emballage de protection spécial; en

cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant

le transport, contacter le bureau de vente local.

Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout

particulièrement à ne pas laisser tomber la TV 702 SEM et à ne lui

faire subir aucun choc et aucune vibration.

Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399 en

matière de protection de l'environnement.

ATTENTION!

Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les

éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre

protection appropriée.

NOTE

La TV 702 SEM ne peut s'endommager en restant simplement exposée à

l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est

conseillé de la garder dans son emballage clos jusqu'au moment de

l'installation.

3

Mode d’emploi

Installation

44/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Figure 1

Installation

ATTENTION!

Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de

brancher la turbopompe au système.

Figure 2

Mode d’emploi

Fixation de la pompe

3

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 45/270

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux

agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz

agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque

d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les

conditions environnementales suivantes:

 pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

 température: de +5 °C° à +35 °C (Cf. graphique dans "Technical

Information")

 humidité relative: 0 – 95 % (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à

l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se

reporter à l'opuscule "Technical Information". La TV 702 SEM doit

être connectée à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical

Information").

Fixation de la pompe

A

VERTISSEMENT!

En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - système pourrait

être soumise à un couple très important. Si la connexion n'est pas en

mesure de résister au dit couple, la pompe peut se détacher du système ou

le moteur de l'enveloppe de la pompe. Dans ce cas, des morceaux de métal

peuvent être expulsés par la pompe ou le système et entraîner des blessures

graves voire la mort et/ou endommager sérieusement les équipements

environnants.

Fixer la TV 702 SEM de façon stable en assurant la collerette d'entrée

de la turbopompe à la contre-collerette du système au moyen d'une

connexion en mesure de résister à un couple de 8600 Nm autour de

son axe. La bride d'entrée ISO-K peut être fixée à l'aide d'étaux en

acier haute résistance (comme le modèle Agilent IC 63250 DCMSZ).

Le tableau suivant indique, pour chaque collerette, le nombre de

pinces IC63250 DCMZ nécessaires et le couple de serrage à appliquer.

3

Mode d’emploi

Fixation de la pompe

46/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Tab. 1

BRIDE N. COUPLE DE SERRAGE

ISO 160 K 10 35 Nm

ISO 200 K 8 35 Nm

La turbopompe à bride d'entrée ISO 160 F ou ISO 200 F doit être

fixée à la chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent

prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice

"Technical Information".

La TV 702 SEM peut être installée dans n'importe quelle position.

Le fonctionnement de la TV 702 SEM est optimisé par la position

verticale de montage.

NOTE

Le TV 702 SEM ne peut être fixé par sa base.

ATTENTION!

La TV 702 SEM appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou

surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à

une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. La TV 702 SEM

dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la communication en

série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune

partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que l'isolation du dispositif

branché à la TV 702 SEM a une isolation appropriée même en condition de

panne individuelle selon les termes de la norme EN 61010-1.

Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical

Information".

Mode d’emploi

Utilisation

3

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 47/270

Utilisation

Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles.

Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements

électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la

chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas

dépasser 120 °C.

A

VERTISSEMENT!

Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas reliée à la

chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture. Eviter

de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les

opérations de chauffage. La température élevée peut être à l'origine de

lésions graves.

ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement

brusque car les paliers pourraient se détériorer. Pour le refoulement de l'air de

la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules.

La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2

bar (au-delà de la pression atmosphérique). Pour le pompage de gaz agressifs,

ces pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire

de fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les

paliers (voir l'appendice "Technical Information").

A

VERTISSEMENT!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques,

inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz.

Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

3

Mode d’emploi

Utilisation

48/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

Mise en marche et utilisation de la TV 702 SEM

Pour allumer la TV 702 SEM il suffit de fournir la tension

d'alimentation au contrôleur (optionnel) qui reconnaît

automatiquement la présence de signaux d'interlock et de démarrage

et il actionne la pompe.

La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft Start".

Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive

automatiquement et les mises en marche suivantes se font sans le

passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise en marche

"Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à l'aide du logiciel

(Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans

l'appendice "Technical Information").

La LED verte placée sur le panneau frontal du contrôleur indique,

par sa fréquence de clignotement, les conditions opérationnelles du

système:

 allumée fixe: la pompe est en rotation normale;

 clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en

état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock.

 clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition

d'erreur.

Arrêt de la TV 702 SEM

Pour arrêter la TV 702 SEM, il suffit de retirer la tension

d'alimentation au contrôleur qui arrête immédiatement la pompe.

Mode d’emploi

Entretien

3

TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A) 49/270

A

VERTISSEMENT!

Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté par

un câble d’alimentation à 3 fils (voir le tableau des parties qui peuvent être

ordonnées) doté d’une fiche (approuvée à niveau international).Utiliser ce

câble et cette fiche avec une prise connectée d’une manière adéquate à

terre pour éviter des décharges électriques et satisfaire les requis des

normes CE. Les tensions élevées qui se développent dans le contrôleur

peuvent provoquer de graves endommagements ou la mort. Avant

d’effectuer les opérations d’entretien à l’intérieur de l’unité débrancher le

câble d’alimentation.

Arrêt d'urgence

Pour arrêter la TV 702 SEM en conditions d'urgence, il faut

débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.

Entretien

Pour arrêter la TV 702 SEM en conditions d'urgence, il faut

débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.

A

VERTISSEMENT!

Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la

pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt

complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe

soit inférieure à 50 °C.

En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations

Agilent qui permet d'obtenir une pompe régénérée en remplacement

de la pompe endommagée.

3

Mode d’emploi

Mise au rebut

50/270 TV 702 SEM User Manual / 87-900-992-01 (A)

NOTE

Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced

exchange service", remplir et faire parvenir au bureau ventes de votre région la

fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de

cette fiche devra être mise dans l'emballage du système avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination

conformément aux réglementations nationales concernant la gestion

des déchets.

Mise au rebut

Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le

symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE

nommée "WEEE".

Ce symbole (unique-ment valide pour les pays de la Communauté

euro-péenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué NE

doit PAS être mis au rebut avec les ordures ména-gères ou les

déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de

collecte sélective.

Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,

l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du

dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le

processus de collecte et mise au rebut.

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