Varian TV 1001 SEM Manuel utilisateur

Marque: Varian

Modèle: TV 1001 SEM

Taper: Manuel utilisateur

Ce manuel convient également à

TV 1001

SEM

Pump models:

969-8939 969-8940

Controller model:

969-8978

MANUALE DI ISTRUZIONI

BEDIENUNGSHANDBUCH

NOTICE DE MODE D’EMPLOI

MANUAL DE INSTRUCCIONES

MANUAL DE INSTRUÇÕES

BEDRIJFSHANDLEIDING

INSTRUKSTIONSBOG

BRUKSANVISNING

INSTRUKSJON MANUAL

OHJEKÄSIKIRJA

ODHGIES CRHSEWS

INSTRUCTION MANUAL

87-900-973-01

SEPTEMBER 2003

TV 1001 SEM

ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1

GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................3

MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................5

INSTRUCCIONES DE USO ...............................................................................................................................7

INSTRUÇÕES PARA O USO.............................................................................................................................9

GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................11

BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................13

BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................15

BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................17

KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................19

PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................21

INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................23

TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................25

DESCRIPTION OF THE TV 1001 SEM.......................................................................................25

Pump Description ..............................................................................................................25

Controller Description ........................................................................................................26

TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................26

TV 1001 SEM OUTLINE ..............................................................................................................27

INTERCONNECTIONS................................................................................................................29

P3 - Vent ............................................................................................................................29

P4 – External fan ...............................................................................................................29

J1 - IN-OUT........................................................................................................................29

Signal description ..............................................................................................................29

How to connect the open-collector inputs of the controller................................................31

How to connect the outputs of the controller .....................................................................32

P2 - Serial ..........................................................................................................................32

RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................32

Communication Format .....................................................................................................32

Communication Protocol....................................................................................................32

Window Meanings .............................................................................................................34

INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................35

AIR COOLING KIT INSTALLATION ............................................................................................36

TV 1001 SEM with Navigator Controller............................................................................36

TV 1001 SEM Pump with Standard Rack Controller.........................................................36

WATER COOLING KIT INSTALLATION .....................................................................................37

VENT ACCESSORIES.................................................................................................................38

TV 1001 SEM Controller Compatible ................................................................................38

Standard Rack Controller Compatible...............................................................................39

VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................39

Single Damper ...................................................................................................................39

Double Damper..................................................................................................................40

PURGE VALVE INSTALLATION .................................................................................................40

SERIAL CABLE INSTALLATION.................................................................................................40

TV 1001 SEM CONTROLLER INSTALLATION ..........................................................................41

Side mounting....................................................................................................................41

TYPICAL LAYOUT DIAGRAM.....................................................................................................42

With Navigator Controller...................................................................................................42

With Standard Rack Controller ..........................................................................................42

Connection A – HIGH VACUUM FLANGE ........................................................................43

Connection B – FORE-VACUUM PUMP...........................................................................43

Connection configurations .................................................................................................43

Connection C – ELECTRICAL...........................................................................................44

PUMP USED WITH CORROSIVE GASES .................................................................................44

PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS ..............................................................45

ACCESSORIES AND SPARE PARTS ........................................................................................45

ISTRUZIONI PER L'USO

1 87-900-973-01

INFORMAZIONI GENERALI

Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'uti-

lizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di i-

struzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla

Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ri-

tiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosser-

vanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da

parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati

o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche.

Le pompe della serie TV 1001 SEM sono pompe turbomoleco-

lari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare

qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte

per il pompaggio di liquidi o di particelle solide.

L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad

elevata velocità (38000 giri/min. max) mossa da un motore e-

lettrico trifase ad alto rendimento. La TV 1001 SEM è totalmen-

te priva di agenti contaminanti, ed è quindi adatta per applica-

zioni che richiedono un vuoto "pulito".

Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile ali-

mentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di

vent, pilotarla da remoto tramite un computer host collegato con

linea seriale (RS232 o RS485).

Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne-

cessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo

dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nel-

l'appendice “Technical information”.

Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:

PERICOLO!

I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una

procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo

corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.

! ATTENZIONE!

I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure

che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-

chiatura.

NOTA

Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.

IMMAGAZZINAMENTO

Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità

delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate

le seguenti prescrizioni:

• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento

delle pompe non devono essere superate le seguenti con-

dizioni ambientali:

• temperatura: da –20 °C a 70 °C

• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)

• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel

modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la

prima volta

• il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco-

lare è di 10 mesi dalla data di spedizione.

! ATTENZIONE!

Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è

supe-riore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni

informazio-ne, si prega di contattare il locale rappresentante

della Varian.

PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE

La TV 1001 SEM viene fornita in un imballo protettivo speciale;

se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verifi-

cati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Du-

rante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare atten-

zione a non lasciar cadere la TV 1001 SEM e a non sotto-porla

ad urti o vibrazioni.

Non disperdere l'imballo nell'ambien-te. Il materiale è comple-

tamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la

tutela dell'ambiente.

! ATTENZIONE!

Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le

mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.

Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.

NOTA

La TV 1001 SEM non può essere danneggiata rimanendo sem-

plicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di

mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione

sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.

INSTALLAZIONE

! ATTENZIONE!

Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo-

mento del collegamento della turbopompa al sistema.

Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad

agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,

in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.

Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le

seguenti condizioni ambientali:

− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica

− temperatura: da + 5 °C a +35 °C (vedere grafico

nell’appendice “Technical Information”)

− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).

In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere

protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Te-

chnical Information" per ulteriori dettagli.

La TV 1001 SEM deve essere collegata ad una pompa prima-

ria (vedere schema in "Technical Information").

ISTRUZIONI PER L'USO

2 87-900-973-01

FISSAGGIO DELLA POMPA

PERICOLO!

Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa

ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia signifi-

cativa. Se la connessione non è sufficiente per resistere alla

suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il

motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa. In questo

caso frammenti di metallo potrebbero essere proiettati dalla

pompa o dal sistema, i quali potrebbero causare seri danni o la

morte e/o danni agli apparati adiacenti.

Fissare la TV 1001 SEM in posizione stabile montando la flan-

gia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema,

con una connessione capace di resistere ad una coppia di

8900 Nm attorno al proprio asse.

Per esempio la flangia ISO-K può essere fissata con morsetti in

acciaio ad alta resistenza (tipo il modello Varian IC63250DCMZ).

La seguente tabella descrive, per ogni flangia, il numero di

morsetti IC63250DCMZ necessari e con quale coppia di ser-

raggio stringerli.

FLANGIA N. COPPIA DI SERRAGGIO

ISO 200 K 8 35 Nm

La turbopompa con flangia di ingresso ISO 200 F deve essere

fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria

meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Te-

chnical Information".

La TV 1001 SEM può essere installata in qualsiasi posizione.

NOTA

La TV 1001 SEM non può essere fissata tramite la sua base.

! ATTENZIONE!

La TV 1001 SEM appartiene alla seconda categoria di installa-

zione (o sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1.

Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione

che soddisfi tale categoria.

La TV 1001 SEM ha dei connettori per gli ingressi/uscite e per

la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circui-

ti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia acces-

sibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo connesso alla

TV 1001 SEM abbia un isolamento adeguato anche in condi-

zione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN

61010-1.

Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical

Information".

USO

In questo paragrafo sono riportate le principali procedure ope-

rative.

Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e

pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da

vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere

superiore a 120 °C.

PERICOLO!

Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è

collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di

chiusura.

Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante

le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può cau-

sare lesioni alle persone.

! ATTENZIONE!

Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopom-

pa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.

Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte

esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attra-

verso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la

pressione atmosferica).

Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate

di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire

alla pompa un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteg-

gere i cuscinetti (vedere l'appendice "Technical Information").

PERICOLO!

Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos-

sici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure

tipiche di ciascun gas.

Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.

Accensione ed Uso della TV 1001 SEM

Per accendere la TV 1001 SEM è sufficiente fornire la tensione

di alimentazione al controller (opzionale) il quale riconosce au-

tomaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed

avvia la pompa.

La prima partenza della pompa avviene nel modo “Soft Start”

che, al termine del ciclo di avvio, si disabilita automaticamente,

per cui tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il

modo “Soft Start”. Per riavere una partenza con “Soft Start”

attivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (ve-

dere il paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIP-

TION” nell’appendice “Technical Information”).

Il LED verde posto sul pannello della base della TV 1001 SEM

indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni ope-

rative del sistema:

− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;

− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il si-

stema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Wai-

ting for interlock”;

− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): con-

dizione di errore.

Arresto della TV 1001 SEM

Per arrestare la TV 1001 SEM è sufficiente togliere la tensione

di alimentazione al controller il quale arresta immediatamente

la pompa.

Arresto di Emergenza

Per arrestare in condizioni di emergenza la TV 1001 SEM oc-

corre staccare il cavo di alimentazione dal controller.

MANUTENZIONE

La TV 1001 SEM non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi

intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.

PERICOLO!

Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo

dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposi-

ta valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed at-

tendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferio-

re a 50°C.

In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazio-

ne Varian o del "Varian advanced exchange service", che per-

mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello

guasto.

NOTA

Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o

advanced exchange service, è indispensabile compilare e far

pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salu-

te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stes-

sa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della

spedizione.

Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla

sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi-

che.

GEBRAUCHSANLEITUNG

3 87-900-973-01

ALLGEMEINE INFORMATIONEN

Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.

Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle

weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen.

Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen,

unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht

autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägi-

gen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung.

Bei den Pumpen der Serie TV 1001 SEM handelt es sich um

Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuuman-

wendungen. Sie eignen sich zur Förderung von jeder Art von

Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förde-

rung von Flüssigstoffen oder Festpartikel.

Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max.

38000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs-

drehstrommotor angetrieben wird. Modell TV 1001 SEM enthält

keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb

auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern.

Modell TV 1001 SEM verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse,

über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt, das Entlüftungsventil

gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über

eine serielle Leitung gesteuert werden kann (RS232, RS485).

In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informati-

onen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des

Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im

Anhang "Technical Information" enthalten.

In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise

folgendermaßen hervorgehoben:

GEFAHR!

Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-

ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-

se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-

vorrufen könnten.

! ACHTUNG!

Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei

Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.

HINWEIS

Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem

Text hervorgehoben werden.

LAGERUNG

Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian

Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden

Anweisungen zu beachten:

• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-

gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht

überschritten werden:

• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C

• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)

• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-

fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-

gangzusetzen.

• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10

Monate ab dem Speditionsdatum.

! ACHTUNG!

Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-

nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk

zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an

den örtlichen Varian Vertreter.

VOR DER INSTALLATION

Modell TV 1001 SEM wird in einer speziellen Schutzverpa-

ckung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zustän-

digen örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Modell TV 1001 SEM

ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen

und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.

Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.

Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie

85/399/EWG für Umweltschutz.

! ACHTUNG!

Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem

Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen

angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere

Schutzmittel zu verwenden.

HINWEIS

Modell TV 1001 SEM kann durch die Umgebung an sich keine

Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der

Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch Staub

zu vermeiden.

INSTALLATION

! ACHTUNG!

Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei

Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.

Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor

Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen

sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-

gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.

Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-

gehalten werden:

- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck

- Temperatur: von +5°C bis +35°C (siehe Diagramm im An-

hang "Technical Information")

- Relative Luftfeuchtigkeit: 0

95% (nicht kondensierend).

Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die

Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-

tionen siehe im Anhang "Technical Information". Modell TV

1001 SEM ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe

Schema in "Technical Information").

GEBRAUCHSANLEITUNG

4 87-900-973-01

BEFESTIGUNG DER PUMPE

GEFAHR!

Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwi-

schen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen

Drehmoment belastet werden. Setzt die Verbindung diesem

Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen,

besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder

der Motor vom Pumpengehäuse löst. In diesem Fall könnten

Metallsplitter von der Pumpe oder vom System geschleudert

werden, die schwere Schäden oder den Tod und/oder Schäden

an benachbarten Geräten zur Folge haben könnten.

TV 1001 SEM in einer stabilen Position befestigen. Den Ein-

trittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems

montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von

8.900 Nm um die eigene Achse standhalten.

Der ISO-K-Flansch kann zum Beispiel mit hochfesten Stahlklem-

men befestigt werden (Typ Modell Varian IC 63250 DCMZ).

Die nachstehende Tabelle gibt an, wie viele Klemmen IC 63250

DCMZ für jeden Flansch erforderlich sind und mit welchem

Anzugsmoment sie festzuziehen sind.

FLANSCH ANZ. ANZUGSMOMENT

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbopumpen mit ISO 200 F Eingangsflansch sind mit dem

speziellen Varian

Befestigungsmaterial an die Vakuum kam-

mer anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im

Anhang "Technical Information".

Modell TV 1001 SEM kann in jeder beliebigen Position instal-

liert werden.

HINWEIS

Modell TV 1001 SEM kann nicht mittels seines Sockels befes-

tigt werden.

! ACHTUNG!

Der TV 1001 SEM gehört zur zweiten Installationsklasse (Ü-

berdruck) die von den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die

Vorrichtung muß daher an eine Speisungsleitung angeschlos-

sen werden, die dieser Kategorie entspricht.

Der TV 1001 SEM hat Verbinder für den Ein-und Ausgang und die

Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen

werden müssen, sodaß kein Teil unter Spannung zugänglich ist .

Sicherstellen, daß die Isolierung der an den TV 1001 SEM ange-

schlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelstörung ausreichend

isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1 vorgesehen wird.

Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical

Information".

GEBRAUCH

In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge

erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen

und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der

eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-

tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.

GEFAHR!

Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der

Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen

oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.

Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-

tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-

nungsgefahr.

! ACHTUNG!

Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen

sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da

die Lager beschädigt werden könnten.

Für die Belüftung der Pumpe trockene staub

und partikelfreie

Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüf-

tungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen

Druck) betragen. Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die

Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über die zum

Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist

(siehe Anhang "Technical Information").

GEFAHR!

Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-

baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das

jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu

befolgen. Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von exp-

losionsfähigen Gasen verwendet werden.

Einschaltung und Gebrauch von Modell TV

1001 SEM

Zur Einschaltung von Modell TV 1001 ist es mit der erforderli-

chen Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute

Controller erfaßt automatisch das Vorhandensein von Interlock-

und Anlaufsignalen und startet die Pumpe.

Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus "Soft

Start", der sich nach dem Anlaufzyklus selbsttätig abschaltet.

Daher erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanläufe ohne den

Modus "Soft Start". Um die Pumpe erneut im Modus "Soft Start"

zu starten, ist dieser Modus mittels der Software wieder frei-

zugeben (siehe Abschnitt "RS 232 COMMUNICATION

DESCRIPTION" im Anhang "Technical Information").

Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell TV 1001

gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen

des System an:

- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-

trieb.

- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet

sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder

“Waiting for Interlock”.

- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.

Stoppen von Modell TV 1001 SEM

Zum Stoppen von Modell TV 1001 SEM ist die Versorgungs-

spannung abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für

den sofortigen Pumpenstopp.

Not-Aus

Zur Stillsetzung von Mod. TV 1001 SEM in Notsituationen ist

vom Controller das Netzkabel abzuziehen.

WARTUNG

Modell TV 1001 SEM erfordert keine Wartung. Eventuelle Ein-

griffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt

werden.

GEFAHR!

Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die

Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und

abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-

tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.

Bei Defekten kann der Varian Service oder der "Varian advan-

ced exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein

generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System

zur Verfügung stellt.

HINWEIS

Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur oder den Um-

tauschdienst eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und

Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die

örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpa-

ckung des Systems vor dem Versand beizulegen.

Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-

schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.

MODE D’EMPLOI

5 87-900-973-01

INDICATIONS GENERALES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profes-

sionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à

l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi

que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian qui

décline par conséquent toute responsabilité en cas de non

respect total ou partiel des instructions données, d'utilisation

impropre par un personnel non formé, d'opérations non autori-

sées ou d'emploi contraire aux réglementations nationales

spécifiques.

Les pompes de la série TV 1001 SEM sont des pompes turbo-

moléculaires conçues pour des applications de vide poussé et

ultrapoussé, et elles sont appropriées pour le pompage de

n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne

sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particu-

les solides.

L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à

vitesse élevée (38000 tr/min maxi), mue par un moteur électri-

que triphasé à haut rendement. Le TV 1001 SEM est totale-

ment exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué

pour toutes les applications exigeant un vide "propre". Le TV

1001 SEM est en outre doté de connecteurs auxiliaires permet-

tant d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander

la soupape de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un

ordinateur host connecté par ligne sérielle.Les paragraphes

suivants fournissent toutes les indications nécessaires à garan-

tir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareil-

lage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'ap-

pendice "Technical Information".

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur

une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de

façon impropre, risque de provoquer de graves lésions

! ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines procé-

dures dont le non respect pourrait endommager sérieusement

l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, extrapo-

lés du texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des

pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de res-

pecter les instructions suivantes :

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,

doivent impérativement avoir lieu dans les conditions am-

biantes suivantes:

• température : de –20 °C à +70 °C

• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires

doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est

de 10 mois à compter de la date d'expédition.

! ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit

être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le

représentant Varian de zone.

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

Le TV 1001 SEM est livré dans un emballage de protection

spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant

s'être produit pendant le transport, contacter le bureau de vente

local.

Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout par-

ticulièrement à ne pas laisser tomber le TV 1001 SEM et à ne

lui faire subir aucun choc et aucune vibration.

Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est

entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399

en matière de protection de l'environnement.

! ATTENTION!

Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à

mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre

toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

Le TV 1001 ne peut s'endommager en restant simplement ex-

posé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due

à la poussière, il est conseillé de le garder dans son emballage

clos jusqu'au moment de l'installation.

INSTALLATION

! ATTENTION!

Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection

qu'au moment de brancher la turbopompe au système.

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux expo-

sés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la pous-

sière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou

à fort risque d'incendie.

Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les

conditions environnementales suivantes:

- pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique

- température: de +5°C° à +35°C (Cf. graphique dans "Tech-

nical Information")

- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

En présence de champs magnétiques, la pompe doit être pro-

tégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseigne-

ment, se reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV

1001 SEM doit être connecté à une pompe primaire (Cf. sché-

ma dans "Technical Information").

MODE D’EMPLOI

6 87-900-973-01

FIXATION DE LA POMPE

DANGER!

En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - sys-

tème pourrait être soumise à un couple très important. Si la

connexion n'est pas en mesure de résister au dit couple, la

pompe peut se détacher du système ou le moteur de l'enve-

loppe de la pompe. Dans ce cas, des morceaux de métal peu-

vent être expulsés par la pompe ou le système et entraîner des

blessures graves voire la mort et/ou endommager sérieuse-

ment les équipements environnants.

Fixer le TV 1001 SEM de façon stable en assurant la collerette

d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au

moyen d'une connexion en mesure de résister à un couple de

8900 Nm autour de son axe.

La bride d'entrée ISO-K peut être fixée à l'aide d'étaux en acier

haute résistance (comme le modèle Varian IC 63250 DCMSZ).

Le tableau suivant indique, pour chaque collerette, le nombre

de pinces IC63250 DCMZ nécessaires et le couple de serrage

à appliquer.

BRIDE N. COUPLE DE SERRAGE

ISO 200 K 8 35 Nm

La turbopompe à bride d'entrée ISO 200 F doit être fixée à la

chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian pré-

vus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice

"Technical Information".

Le TV 1001 SEM peut être installée dans n'importe quelle posi-

tion.

NOTE

Le TV 1001 SEM ne peut être fixé par sa base.

! ATTENTION!

Le TV 1001 SEM appartient à la deuxième catégorie d'installa-

tions (ou surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce

fait, brancher le dispositif à une ligne d'alimentation compatible

avec cette catégorie.

Le TV 1001 SEM dispose de connecteurs pour les en-

trées/sorties et pour la communication en série qui doivent être

branchés aux circuits extérieurs de façon qu'aucune partie sous

tension ne soit accessible.

S'assurer que l'isolation du dispositif branché au TV 1001 SEM

a une isolation appropriée même en condition de panne indivi-

duelle selon les termes de la norme EN 61010-1.

Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à

"Technical Information".

UTILIZATION

Ce paragraphe présente les principales procédures opération-

nelles.

Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements

électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de

la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit

pas dépasser 120°C.

DANGER!

Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est

pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec

la bride de fermeture.

Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires

éventuels pendant les opérations de chauffage. La température

élevée peut être à l'origine de lésions graves.

! ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou

déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer.

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du

gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression

d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure

à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique).

Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées

d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de four-

nir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou argon) pour pro-

téger les paliers (voir l'appendice "Technical Information").

DANGER!

Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxi-

ques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typi-

ques de chaque gaz.

Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.

Mise en marche et utilisation du TV 1001 SEM

Pour allumer le TV 1001 SEM il suffit de fournir la tension

d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatique-

ment la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il

actionne la pompe.

La première mise en marche de la pompe se fait en mode "Soft

Start". Au terme du cycle de démarrage, ce mode se désactive

automatiquement et les mises en marche suivantes se font

sans le passage "Soft Start". Pour obtenir à nouveau une mise

en marche "Soft Start", il faut réactiver ce mode opératoire à

l'aide du logiciel (Cf. paragraphe "RS232 COMMUNICATION

DESCRIPTION" dans l'appendice "Technical Information").

La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du TV

1001 SEM indique, par sa fréquence de clignotement, les

conditions opérationnelles du système:

- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;

- clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est

en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock.

- clignote rapidement (pédiode d'environ 200 ms): condition

d'erreur.

Arrêt du TV 1001 SEM

Pour arrêter le TV 1001 SEM, il suffit de retirer la tension d'alimen-

tation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la pompe.

Arrêt d'urgence

Pour arrêter le TV 1001 SEM en conditions d'urgence, il faut

débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.

ENTRETIEN

Le TV 1001 SEM n'exige aucun entretien particulier. Toute

intervention doit être effectuée par un personnel agréé.

DANGER!

Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler

l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,

attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la

température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de bénéficier du service répa-

rations Varian ou du "Varian advanced exchange service" qui

permet d'obtenir un système régénéré en remplacement du

système endommagé.

NOTE

Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation

ou "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au

bureau Varian de votre région la fiche "Sécurité et Santé" jointe

au présent manuel d'instructions. Une copie de cette fiche de-

vra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimina-

tion conformément aux réglementations nationales concernant

la gestion des déchets.

INSTRUCCIONES DE USO

7 87-900-973-01

INFORMACIÓN GENERAL

Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer

atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier

otra información suplementaria facilitada por Varian antes de

usar el aparato. Varian se considera libre de posibles

responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de

las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no

preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a

las normas nacionales específicas.

Las bombas de la serie Turbo-V2000HT son bombas

turbomoleculares para aplicaciones de vacío alto y ultra alto y

pueden bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso.

No son apropiadas para bombear líquidos o partículas sólidas.

El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa

de alta velocidad (38000 r.p.m. máx.) movida por un motor

eléctrico trifásico de alto rendimiento. El TV 1001 SEM no

posee ningún agente contaminante y por lo tanto es adecuado

para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.

Asimismo, el TV 1001 SEM posee conectores auxiliares con

los que se puede alimentar un ventilador adicional, accionar la

válvula de ventilación, pilotarla a distancia con un ordenador

host conectado mediante línea serial (RS 232/RS 485).

A continuación se facilita toda la información necesaria para

garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el

anexo “Technical Information” se facilita información más

detallada.

Este manual utiliza las convenciones siguientes:

¡PELIGRO!

Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre

un procedimiento o una ejecución específica que, de no

realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones

personales.

! ¡ATENCIÓN!

Los mensajes de atención se visualizan antes de los

procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños

al aparato.

NOTA

Las notas contienen información importante extraída del texto.

ALMACENAMIENTO

Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de

las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las

siguientes instrucciones:

• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento

de las bombas no deberán superarse las siguientes

condiciones ambientales:

• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;

• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);

• el cliente deberá activar siempre las bombas

turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y

ponerlas en funcionamiento por primera vez;

• el período máximo de almacenamiento de una bomba

turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de

envío al cliente.

! ¡ATENCIÓN!

En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo

permitido de almacenamiento, será necesario devolver la

bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,

se ruega contactar con el representante local de Varian.

PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN

El TV 1001 SEM se suministra en un embalaje especial de

protección; si se observan daños, que podrían haberse

producido durante el transporte, ponerse en contacto con la

oficina local de ventas.

Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no

se caiga el TV 1001 SEM y de no someterlo a golpes o

vibraciones.

No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es

completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399

para la preservación del medio ambiente.

! ¡ATENCIÓN!

Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las

manos desnudas los componentes destinados a exponerse al

vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.

NOTA

El TV 1001 SEM no puede dañarse permaneciendo

simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se

aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el

sistema para evitar su posible contaminación por polvo.

INSTALACIÓN

! ¡ATENCIÓN!

Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al

conectar la bomba al sistema.

No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a

agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases

agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio.

Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las

condiciones ambientales siguientes:

- presión máxima: 2 bares por encima de la presión

atmosférica

- temperatura: de +5ºC a +35ºC (véase gráfico en el anexo

“Technical Information”)

- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).

Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de

protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo

“Technical Information” para más detalles.

El TV 1001 SEM ha de conectarse a una bomba primaria

(véase diagrama en “Technical Information”).

INSTRUCCIONES DE USO

8 87-900-973-01

FIJACIÓN DE LA BOMBA

¡PELIGRO!

En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el

sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas

circunstancias, la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza

y, como consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el

motor podría separarse respecto del contenedor de la bomba. En

este caso fragmentos de metal pueden ser proyectados por la

bomba o por el sistema, con consiguiente grave riesgo de lesiones

o muerte y/o daños a los aparatos adyacentes.

Fijar el TV 1001 SEM en posición estable, montando la brida

de entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema,

con conexión capaz de resistir a un par de 8900 Nm en torno a

su propio eje.

A modo de ejemplo, la brida ISO-K puede fijarse con mordazas

de acero de alta resistencia (como el modelo Varian IC 63250

DCMZ).

En la siguiente tabla se indican, respecto de cada brida, la

cantidad de mordazas IC 63250 DCMZ necesarias y el par de

apriete con el cual fijarlas.

BRIDA N. PAR DE APRIETE

ISO 200 K 8 35 Nm

La turbobomba con brida de entrada ISO 200 F ha de fijarse a

la cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos

específicos Varian. Para más detalles véase el anexo

“Technical Information”.

El TV 1001 SEM puede instalarse en cualquier posición.

NOTA

El TV 1001 SEM no puede fijarse utilizando su base.

! ¡ATENCIÓN!

El TV 1001 SEM pertenece a la segunda categoría de

instalación (o sobretensión) prevista por la normativa EN

61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a

una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.

El TV 1001 SEM tiene conectores para las entradas/salidas y

para la comunicación serial que deben ser conectados a los

circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión

quede accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo

conectado al TV 1001 SEM mantenga una acción aisladora

incluso en caso de verificarse una avería, de conformidad con

lo establecido por la normativa EN 61010-1.

Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical

Information”.

USO

En este apartado se citan los procedimientos operativos

principales. Antes de usar el sistema realizar todas las

conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible

calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la

brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.

¡PELIGRO!

No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no

está conectada al sistema o no está cerrada con la brida de

cierre.

No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las

operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede

provocar lesiones a las personas.

! ¡ATENCIÓN!

Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la

turbobomba durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían

dañarse.

Para el envío de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin

polvo o partículas. La presión de entrada a través de la puerta

deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión

atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas

están dotadas de una puerta específica mediante la cual es

necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte

(Nitrógeno o Argón) para proteger los rodamientos (véase el

anexo “Technical Information”).

¡PELIGRO!

Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,

inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos

apropiados típicos de cada gas.No usar la bomba cuando haya

gases explosivos.

Encendido y Uso del TV 1001 SEM

Para encender el TV 1001 SEM basta con suministrar la

tensión de alimentación. El controlador incorporado reconoce

automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y

de arranque y activa la bomba.

La primera salida de la bomba se realiza en el modo “Soft

Start” que, al final del ciclo de puesta en marcha, se deshabilita

automáticamente, por lo tanto cuando la bomba se ponga en

marcha posteriormente se hará sin “Soft Start”. Para volver a

utilizar una puesta en marcha “Soft Start” activa es necesario

rehabilitar la forma anteriormente indicada mediante software

(véase el apartado “RS 232 COMMUNICATION

DESCRIPTION” en el anexo “Technical Information”).

El LED verde LD1 situado en el panel de la base del TV 1001

indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones

operativas del sistema:

- encendido fijo: la bomba está en rotación normal;

- parpadea lentamente (periodo de 400 ms

aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o

de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;

- parpadea rápidamente (periodo de 200 ms

aproximadamente): condición de error.

Parada del TV 1001 SEM

Para parar el TV 1001 SEM nte con desenchufarlo de la

corriente. El controler incorporado detiene inmediatamente la

bomba.

Parada de Emergencia

Para detener en condiciones de emergencia el TV 1001 SEM es

necesario desconectar del controlador el cable de alimentación.

MANTENIMIENTO

El TV 1001 SEM no necesita ningún mantenimiento. Cualquier

operación deberá ser realizada por personal autorizado.

¡PELIGRO!

Antes de realizar cualquier operación en el sistema

desconectarlo de la corriente, enviar aire de la bomba abriendo

la válvula oportuna, esperar hasta que el rotor se pare

completamente y esperar a que la temperatura superficial de la

bomba sea inferior a 50ºC.

En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación

Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite

obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado.

NOTA

Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o

“advanced exchange service”, es imprescindible cumplimentar

y remitir a la oficina local de ventas la ficha de “Seguridad y

Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia

de la misma se deberá introducir en el embalaje del sistema

antes de enviarlo.

En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo

respetando las normas nacionales específicas.

INSTRUÇÕES DE USO

9 87-900-973-01

INFORMAÇÕES GERAIS

Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador

deve ler atentamente o presente manual de instruções e todas

as informações adicionais fornecidas pela Varian antes de

utilizar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela

inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido

por parte de pessoas não treinadas, por operações não

autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais

específicas.

As bombas da série Turbo-V2000HT são bombas

turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, e

são capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto

gasoso. Não são adequadas para bombear líquidos ou

partículas sólidas.

O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de

alta velocidade (38000 r.p.m. máx.) movida por um motor

eléctrico trifásico de alto rendimento. O TV 1001 SEM é

totalmente isentos de agentes contaminadores e, portanto, é

adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".

Além disso, o TV 1001 SEM tem conectores auxiliares através

dos quais é possível alimentar um ventilador adicional,

comandar a válvula de vent, accioná-lo por um controlo remoto

através de um computer host conectado por meio de linhas

seriais (RS 232/RS 485). Nos seguintes parágrafos estão

descritas todas as informações necessárias para garantir a

segurança do operador durante o uso da aparelhagem.

Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical

Information".

Este manual utiliza as seguintes convenções:

PERIGO!

As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para

um procedimento ou uma prática específica que, se não

efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.

! ATENÇÃO!

As mensagens de atenção são visualizadas antes de

procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem

causar danos à aparelhagem.

NOTA

As notas contêm informações importantes destacadas do texto.

ARMAZENAGEM

Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade

das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas

as seguintes prescrições:

• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem

das bombas as condições ambientais devem ser as

seguintes:

• temperatura: de –20 °C a 70 °C

• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)

• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,

o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start

• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba

turbomolecular é de 10 meses a contar da data da

expedição.

! ATENÇÃO!

Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for

superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o

fabricante. Para mais informações, contatar o representante

local da Varian.

PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO

O TV 1001 SEM é fornecido numa embalagem protectora

especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter

ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o

escritório de vendas local. Durante a remoção da embalagem,

tomar muito cuidado para não deixar cair o controller e para

não submetê-lo a choques ou vibrações.

Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é

completamente reciclável e em conformidade com a norma

CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.

! ATENÇÃO!

Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as

mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.

Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.

NOTA

O TV 1001 SEM não pode ser danificado permanecendo

simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,

manter a bomba fechada até o momento da instalação no

sistema para evitar eventuais acumulações de pó.

INSTALAÇÃO

! ATENÇÃO!

Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção

somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.

Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a

agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases

agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou

com elevado risco de incêndio.

Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas

as seguintes condições ambientais:

- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica

- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC (consultar a planilha no

apêndice “Technical Information”)

- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).

Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser

protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores

detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".

O TV 1001 SEM deve ser ligado a uma bomba primária

(consultar esquema em "Technical Information").

INSTRUÇÕES DE USO

10 87-900-973-01

FIXAÇÃO DA BOMBA

PERIGO!

Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema

corre o risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação

não resistir de maneira suficiente ao referido torque, a bomba

pode soltar-se do sistema ou o motor pode soltar-se do

invólucro da bomba. Nesse caso, fragmentos de metal podem

ser projectados da bomba ou do sistema, que podem provocar

lesões graves ou a morte e/ou danificar os equipamentos

adjacentes.

Colocar o TV 1001 SEM em posição estável, fixando o flange

de entrada da turbobomba ao contra-flange do sistema, com

uma ligação que resista a um torque de 8900 Nm à volta do

seu eixo.

Por exemplo, o flange ISO-K pode ser fixado com bornes de

aço de alta resistência (como o modelo Varian IC 63250

DCMZ).

A tabela a seguir contém, por cada flange, o número de bornes

IC 63250 DCMZ necessários e o respectivo torque de aperto.

FLANGE N TORQUE DE APERTO

ISO 200 K 8 35 Nm

A turbobomba com flange de entrada ISO 200 F deve ser

fixada na câmara de vácuo através de parafusos específicos

da mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o

apêndice "Technical Information".

O TV 1001 SEM pode ser instalado em qualquer posição.

NOTA

O TV 1001 não pode ser fixado através da sua base.

! ATENÇÃO!

O TV 1001 SEM pertence à segunda categoria de instalação

(ou sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto,

ligue o dispositivo a uma linha de alimentação apropriada para

esta categoria.

O TV 1001 SEM tem dois conectores para as entradas/saídas

e para a comunicação de série que devem ser ligados aos

circuitos externos de modo a não permitir o acesso às partes

sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo

ligado ao TV 1001 SEM esteja isolado correctamente mesmo

em caso de avaria, conforme previsto pela norma NE 61010-1.

Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar

"Technical Information".

UTILIZAÇÃO

Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos

operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as

ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual

aquecimento da câmara a vácuo, a temperatura no flange de

entrada não deve ser superior a 120 ºC.

PERIGO!

Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver

ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange

de fecho.

Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios

durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura

pode causar lesões às pessoas.

! ATENÇÃO!

Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da

turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam

sofrer danos.

Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem

poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta

específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão

atmosférica).

Para bombear gases agressivos, estas bombas estão

equipadas com uma porta específica através da qual é

necessário fornecer à bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou

Argon) para proteger os rolamentos (consultar o apêndice

"Technical Information”).

PERIGO!

Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,

inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos

adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na

presença de gases explosivos.

Acendimento e Utilização do TV 1001 SEM

Para ligar o TV 1001 SEM é suficiente fornecer a tensão de

alimentação. O controller incorporado reconhece

automaticamente os sinais de interlock e de activação, e

acciona a bomba.

O primeiro accionamento da bomba faz-se em “Soft Star” que,

no fim do ciclo de arranque, se desactiva automaticamente,

portanto, todos os sucessivos arranques da bomba não serão

em “Soft Start”. Para poder arrancar a bomba em “Soft Start”,

será preciso reactivar o modo acima referido utilizando o

software (consultar o parágrafo “RS 232 COMMUNICATION

DESCRIPTION” no apêndice “Technical Information”).

A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do TV

1001 SEM, indica, através da frequência de intermitência, as

condições operacionais do sistema:

- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;

- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema

está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,

ou de “waiting for interlock”.

- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição

de erro.

Paragem do TV 1001 SEM

Para parar o TV 1001 SEM é suficiente desligar a tensão de

alimentação. O controller incorporado para imediatamente a

bomba.

Paragem de Emergência

Para parar o TV 1001 SEM em condições de emergência é

necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação.

MANUTENÇÃO

O TV 1001 SEM não requer qualquer manutenção. Todas as

operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.

PERIGO!

Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da

alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula

específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até

que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.

Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de

assistência Varian ou do "Varian advanced exchange service",

que permite obter um sistema regenerado que substitua a

bomba com defeito.

NOTA

Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações

ou o “advanced exchange service”, é indispensável preencher

e enviar ao escritório de vendas local a ficha "Segurança e

Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da

mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da

expedição.

Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua

eliminação respeitando as normas nacionais específicas.

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

11 87-900-973-01

ALGEMENE INFORMATIE

Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De

gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige

door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat

in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de

gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de

aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid

personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of

gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving.

De pompen van de serie TV 1001 SEM zijn turbomoleculaire

pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in

staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet

geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het

pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine

(max. 38000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een

elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TV 1001

SEM is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt

voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen.

De TV 1001 SEM is bovendien van hulpconnectors voorzien

waarmee een extra ventilator kan worden gevoed, de

luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd, en waarmee het

systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op afstand

kan worden bediend (RS 232/RS 485).

In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de

veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur

te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage

"Technical information

Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebru-

ik:

GEVAAR!

Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator

vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet

correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.

! ATTENTIE!

Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet

opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.

OPMERKING

De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst

is gelicht.

OPSLAG

Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de

Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten

de volgende voorschriften in acht worden genomen:

• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet

aan de volgende omgevingscondities worden voldaan:

• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C

• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet

condenserend)

• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de

Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor

de eerste keer in werking worden gesteld

• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10

maanden vanaf de verzenddatum.

! ATTENTIE!

Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet

de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer

informatie wordt verzocht contact op te nemen met de

plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.

UITPAKKEN

De TV 1001 SEM wordt in een speciale beschermende

verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die

tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen

contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.

Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV 1001 SEM niet kan

vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.

Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het

verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de

EEG milieurichtlijn 85/399.

! ATTENTIE!

Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de

componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met

de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd

handschoenen of een andere geschikte bescherming.

OPMERKING

De TV 1001 SEM kan niet beschadigd worden door

eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch

wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze

niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele

vervuiling door stof wordt voorkomen.

INSTALLATIE

! ATTENTIE!

Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem

wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop

verwijderd worden.

De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in

ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden

(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten

met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar

Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities

aanwezig zijn

- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk

- temperatuur: van +5°C tot +35°C (zie grafiek in de bijlage

“Technical Information”)

- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).

In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op

passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical

Information” voor meer informatie. De TV 1001 SEM moet op

een primaire pomp aangesloten zijn (zie schema in "Technical

information").

GEBRUIKSAANWIJZINGEN

12 87-900-973-01

BEVESTIGING VAN DE POMP

GEVAAR!

Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de

pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel

onderhevig kunnen zijn. Als de verbinding niet voldoende is om

dit koppel te weerstaan, zou de pomp van het systeem of de

motor van het pomplichaam los kunnen raken. In dit geval

kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het

rond worden geschoten, welke ernstig letsel, de dood en/of

schade aan omliggende apparaten kunnen veroorzaken.

Bevestig de TV 1001 SEM in een stabiele positie door de

inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het

systeem te monteren, met een verbinding die in staat is om een

koppel van 8900 Nm rondom de eigen as te weerstaan.

De ISO-K-flens kan bijvoorbeeld bevestigd worden met stalen

klemmen met een hoge weerstand (zoals het model Varian IC

63250 DCMZ).

De volgende tabel beschrijft voor elke flens het aantal

benodigde klemmen IC 63250 DCMZ en met welk koppel ze

aangetrokken moeten worden.

FLENS

NR.

AANHAAL KOPPEL

ISO 200 K 8 35 Nm

De turbompomp met ISO 200 F inlaatflens moet aan de

vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale

mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer

informatie de bijlage "Technical information".

De TV 1001 SEM kan in alle standen worden geïnstalleerd.

OPMERKING

De TV 1001 SEM kan niet met behulp van zijn eigen basis

worden bevestigd.

! ATTENTIE!

De TV 1001 SEM behoort tot de tweede installatiecategorie (of

overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is

voorzien. Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die

aan deze categorie voldoet.

De TV 1001 SEM bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen

en voor de seriële communicatie die aangesloten moeten worden

op de externe circuits, zodat geen enkel deel onder spanning

toegankelijk is. Controleer of de inrichting verbonden met de TV

1001 SEM goed geïsoleerd is, ook in geval van een enkele storing

zoals voorzien door de norm EN 61010-1.

Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die

als optie verkrijgbaar zijn.

GEBRUIK

In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures

vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen

tot stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de

eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de

temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.

GEVAAR!

Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de

vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.

Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het

verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel

veroorzaken.

! ATTENTIE!

Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de

turbopomp wanneer deze in werking is. De lagers kunnen

anders beschadigd raken.

Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas

zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor

bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de

atmosferische druk) bedragen.

Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van

een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een stroom

inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers krijgt

geleverd (zie bijlage “Technical Information”).

GEVAAR!

Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van

brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de

procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn

opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van

explosieve gassen.

Inschakeling en gebruik van de TV 1001 SEM

Om de TV 1001 SEM in te schakelen is het voldoende om deze

van stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent

automatisch de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en

start de pomp. De eerste start van de pomp geschiedt op de

wijze “Soft Start” die, aan het einde van de startcyclus,

automatisch ontmachtigd wordt. Vandaar dat alle volgende

starts niet op de wijze “Soft Start” geschieden. Om opnieuw met

“Soft Start” te starten, moet bovengenoemde wijze met behulp

van de software gemachtigd worden (zie paragraaf “RS 232

COMMUNICATION DESCRIPTION” in de bijlage “Technical

Information”). De groene LED LD1 op het paneel van de basis

van de TV 1001 SEM geeft door de frequentie van zijn

knipperen, de werkcondities van het systeem aan:

- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;

- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem

is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for

interlock”;

- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.

Afzetten van de TV 1001 SEM

Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden

onderbroken. De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de

pomp.

Noodstop

Om de TV 1001 SEM in noodomstandigheden te stoppen, moet

de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.

ONDERHOUD

De TV 1001 SEM is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden

moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.

GEVAAR!

Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de

stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor

bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig

stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een

temperatuur van 50 °C is gezakt.

In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van

Varian of de "Varian advanced exchange service" in te

schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de

defecte pomp.

OPMERKING

Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te

sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid

en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke

verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart

moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden

gevoegd.

Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig

de specifieke nationale wetgeving te werk.

BRUGSANVISNING

13 87-900-973-01

GENEREL INFORMATION

Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren

bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere

information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke

ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af

disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt

kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der

strider imod gældende lokale regler.

TV 1001 SEM serien omfatter turbomolekulære pumper til

højvakuum og til ultra-højvakuum. Pumperne er i stand til at

pumpe alle typer luftarter og luftforeninger. Denne serie er ikke

egnet til at pumpe væsker eller faste partikler.

Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine

(38000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor

med høj effekt. TV 1001 SEM er ikke fremstillet af skadelige

stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent”

vakuum. TV 1001 SEM har endvidere hjælpestik, der gør det

muligt at forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og

fjernstyre den ved hjælp af en værtscomputer gennem seriel

forbindelse (RS 232/RS 485).

De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige

for at garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med

anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk Information”

indeholder detaljerede oplysninger.

I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:

ADVARSEL!

Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en

speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist

efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære

personskader.

! VIGTIGT!

Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal

følges nøje for ikke at risikere maskinskader.

BEMÆRK

Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.

OPBEVARING

Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre

optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære

pumper fra Varian:

• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i

forbindelse med transport, flytning og opbevaring af

pumperne:

• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,

• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).

• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved

hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af

pumperne for første gang.

• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder

fra forsendelsesdatoen.

! VIGTIGT!

Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,

er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken.

Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale

Varian repræsentant.

FORBEREDELSE FØR INSTALLATION

TV 1001 SEM leveres i en speciel beskyttende emballage.

Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på

skader, der kan være opstået under transporten.

Sørg for, at TV 1001 SEM ikke tabes eller udsættes for stød

ved udpakningen.

Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og

opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.

! VIGTIGT!

Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres

med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid

handsker eller anden lignende beskyttelse.

BEMÆRK

Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 1001 SEM.

Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil

den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i

pumpen.

INSTALLATION

! VIGTIGT!

Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen

tilsluttes systemet.

Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for

påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive

gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.

Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:

- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk

- temperatur: fra +5°C til + 35°C (se illustrationen i bilaget

“Teknisk Information”)

- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)

Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske

felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for

yderligere oplysninger.

TV 1001 SEM skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet

“Teknisk Information”).

BRUGSANVISNING

14 87-900-973-01

FASTGØRELSE AF PUMPE

ADVARSEL!

Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og

systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis

forbindelsen ikke er tilstrækkelig til at modstå dette

drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra systemet eller

motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning. I dette

tilfælde kan metalfragmenter blive slynget ud af pumpen eller

systemet, hvilket kan medføre alvorlige kvæstelser eller

dødsfald og/eller materiel beskadigelse af apparaterne i

nærheden.

Montér TV 1001 SEM i en stabil position ved at montere

turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange.

Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 8.900 Nm

omkring dens egen akse.

ISO-K-flangen kan eksempelvis fastspændes ved hjælp af

stålklemmer med høj styrke (f.eks. modellen Varian IC 63250

DCMZ).

Nedenstående tabel beskriver antallet af klemmer (IC 63250

DCMZ), som er nødvendige til hver enkelt flange, samt det

nødvendige tilspændingsmoment for klemmerne.

LANGE ANT. DREJNINGS-MOMENT

ISO 200 K 8 35 Nm

Turbopumpen med ISO 200 F indløbsflange skal tilsluttes på

vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I

bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer.

TV 1001 SEM kan installeres i en hvilken som helst position.

BEMÆRK

Navigator TV 1001 kan ikke fastgøres i fundamentet.

! VIGTIGT!

TV 1001 SEM hører til den anden installationsklasse (eller

overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor

anordningen til en forsyningslinie, som opfylder kravene i denne

klasse.

TV 1001 SEM er forsynet med konnektorer til ind-/udgange og

til seriel kommunikation. Konnektorerne skal tilsluttes de

eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt at opnå adgang

til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er

tilsluttet TV 1001 SEM, har en passende isolering. Dette gælder

også i tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1.

Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger

vedrørende installation af ekstraudstyret.

ANVENDELSE

Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden

anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og

pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med

opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens

temperatur ikke overstige 120° C.

ADVARSEL!

Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er

tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved

hjælp af lukkeflangen.

Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med

opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i

skade på personer.

! VIGTIGT!

Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i

forbindelse med brug af turbopumpen. Der er risiko for

beskadigelse af lejerne.

Pumpen skal forsynes med luft eller ædelgasser, der ikke

indeholder støv eller faste partikler. Indgangstrykket ved den

specielle dør skal være mindre end 2 bar (over atmosfærisk

tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse

pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er

nødvendigt at forsyne pumpen med ædelgasser (kvælstof eller

argon) for at beskytte lejerne (se bilaget “Teknisk Information”).

ADVARSEL!

Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive

gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.

Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.

Start og anvendelse af TV 1001 SEM

For at starte TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at tilslutte et

forsyningsstik. Den indbyggede styreenhed genkender

blokerings- og startsignaler automatisk, og starter pumpen.

Pumpen startes første gang ved hjælp af SOFT START

metoden. Når startprocessen er afsluttet, frakobles denne

funktion automatisk med hensyn til alle efterfølgende

aktiveringer af pumpen, der vil ske uden SOFT START

metoden.

For at aktivere SOFT START metoden på ny skal ovennævnte

måde programmeres ved hjælp af software (se afsnit “RS 232

“COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilaget “Teknisk

Information”).

Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på TV 1001’s

fundament, angiver systemets funktion ved blink:

- konstant tændt: pumpen er i normal rotation

- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i

stilling for acceleration, bremsing, stop eller “Waiting for

interlock”

- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.

Stop af TV 1001 SEM

For at afbryde TV 1001 SEM er det tilstrækkeligt at afbryde

strømtilførselen. Den indbyggede styreenhed afbryder straks

pumpen.

Nødstop

Afbrydelse af TV 1001 SEM i nødsituationer sker ved at koble

ledningen fra styreenheden.

VEDLIGEHOLDELSE

TV 1001 SEM behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert

indgreb skal foretages af autoriseret personale.

ADVARSEL!

Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal

strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at

åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er

standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under

50°C.

I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian

reparationsværksted eller “Varian advanced exchange service”,

der udskifter systemet med et repareret system.

BEMÆRK

Inden systemet sendes til reparationsværkstedet eller “Varian

advanced axchange service” skal “Sikkerheds- og

tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne instruktionsmanual,

udfyldes. En kopi af dette dokument skal indsættes i systemets

emballage inden afsendelse.

Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det

pågældende lands særlige love.

BRUKSANVISNING

15 87-900-973-01

ALLMÄN INFORMATION

Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.

Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig

dokumentation från Varian före användning av utrustningen.

Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av

åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av

person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen

eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.

Pumparna i TV 1001 SEM-serien är turbomolekylära pumpar

för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan

användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar.

De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.

Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max

38000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga

tillsatsämnen används i TV 1001 SEM, som därför passar för

tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.

TV 1001 SEM har dessutom en hjälpkontakt som gör det möjlig

att förse ström till en extra ventilator, att kontrollera

avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-

dator som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS

485).

De följande avsnitten innehåller all information som behövs för

att garantera operatörens säkerhet under användningen.

Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".

I bruksanvisningen används följande standardrubriker:

VARNING!

Varningsmeddelandena informerar operatören om att en

speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt

enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra

personskador.

! VIKTIGT !

Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste

följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå.

OBSERVERA

Detta visar på viktig information i texten.

FÖRVARING

Respektera följande anvisningar för att garantera optimal

prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:

• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande

omgivningsförhållanden respekteras:

• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.

• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).

• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna

när de mottas och sätts i drift för första gången.

• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från

leveransdatumet.

! VIKTIGT !

Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen

skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala

Varian-återförsäljaren för ytterligare information.

FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN

TV 1001 SEM levereras i ett särskilt skyddande emballage.

Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar

tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till

att TV 1001 SEM inte tappas eller utsätts för stötar vid

uppackningen.

Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är

återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om

miljöskydd.

! VIKTIGT !

Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras

med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid

handskar eller liknande skydd.

OBSERVERA

Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 1001

SEM. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills

den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer

in damm eller annat i den.

INSTALLATION

! VIKTIGT !

Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska

anslutas till systemet.

Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för

påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva

gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.

Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:

- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)

- temperatur: från +5°C till +35°C (se bild i “Technical

Information”)

- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens).

I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild

skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare

upplysningar. TV 1001 SEM måste anslutas till en huvudpump

(se schemat i "Technical information").

La page charge ...

Varian TV 1001 SEM Manuel utilisateur

Marque: Varian

Modèle: TV 1001 SEM

Taper: Manuel utilisateur

Ce manuel convient également à

Télécharger le PDF

rapport

dans d''autres langues

English: Varian TV 1001 SEM User manual
español: Varian TV 1001 SEM Manual de usuario
Nederlands: Varian TV 1001 SEM Handleiding
português: Varian TV 1001 SEM Manual do usuário
dansk: Varian TV 1001 SEM Brugermanual
svenska: Varian TV 1001 SEM Användarmanual
suomi: Varian TV 1001 SEM Ohjekirja

Varian TV 1001 SEM Manuel utilisateur

Ce manuel convient également à

Varian TV 1001 SEM Manuel utilisateur

dans d''autres langues

Documents connexes

Autres documents