Varian Turbo-V70LP Manuel utilisateur

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MODE D’EMPLOI

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GENERALITES

Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation profession-

nelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice

d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire four-

nie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par consé-

quent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle

des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un

personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi

contraire aux réglementations nationales spécifiques.

Les pompes de la série Turbo-V 70LP.sont des pompes turbomo-

léculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultra-

poussé, capables de pomper n'importe quel type de gaz ou de

composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de

liquides ou de particules solides.

L’effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à

vitesse élevée (75000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique

triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V 70LP sont tota-

lement dépourvues d’agents polluants et sont par conséquent

indiquées pour les applications exigeant un vide “propre”.

Les paragraphes suivants donnent toutes les indications néces-

saires à garantir la sécurité de l’opérateur pendant l’utilisation de

l’appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans

l’appendice “Technical Information”.

Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:

!

DANGER!

Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une

procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effec-

tuée correctement, risque de provoquer de graves lésions.

!

ATTENTION!

Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédu-

res qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager

sérieusement l'appareillage.

NOTE

Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du

texte.

STOCKAGE

Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pom-

pes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les

instructions suivantes :

• Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doi-

vent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes

suivantes:

• température : de –20 °C à +70 °C

• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)

• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doi-

vent toujours être mises en marche en mode soft-Start.

• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de

10 mois à compter de la date d'expédition.

!

ATTENTION!

En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être

retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le

représentant Varian de zone.

PREPARATION POUR L'INSTALLATION

La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si

l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits

pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local.

Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particu-

lièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir

aucun choc ni aucune vibration.

Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entiè-

rement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en

matière de protection de l'environnement.

!

ATTENTION!

En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les

mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre

toujours des gants ou toute autre protection appropriée.

NOTE

La pompe ne peut être endommagée en restant simplement

exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la gar-

der enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute

pollution due à la poussière.

INSTALLATION

Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés à

des agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à des poussières,

à des gaz de combat ainsi que dans des milieux explosifs ou à

risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est néces-

saire de respecter les conditions environnementales suivantes:

− pression maxi: 2 bar

− température: de +5°C° à +35°C

− humidité relative: 0 - 95% (non condensante)

Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 70LP ne doi-

vent être utilisées qu’avec l’un des contrôleurs spéciaux Varian

(série 969-9405, 969-9505, 969-9507 ou 969-9508) et doivent

être connectées à une pompe primaire (Cf. schéma dans “Tech-

nical Information”).

!

ATTENTION!

N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la

connexion de la turbopompe au système.

MODE D’EMPLOI

6 87-900-862-01(E)

La turbopompe devra être installée en position verticale ou en

position retournée avec une inclinaison maximum de 10° par rap-

port à l’axe vertical.

La turbopompe peut être installée dans n'importe quelle position.

Fixer la turbopompe dans une position stable en reliant la bride

d’entrée à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de

200 Nm autour de son axe, ou bien en utilisant le kit en option

prévu pour un fixation à la base de la pompe.

La turbopompe à bride d’entrée ISO doit être fixée à la chambre à

vide à l’aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant

indique le nombre de colliers nécessaires et le couple de serrage

prescrit.

BRIDE TYPE DE

COLLIER

NBRE COUPLE DE

SERRAGE

ISO 63 Collier double à

filetage M10

4 22 Nm

Collier simple à

filetage M8

4 11 Nm

La turbopompe à bride d’entrée ConFiat doit être fixée à la cham-

bre à vide à l’aide des éléments mécaniques Varian prévus à cet

effet. Pour tout autre détail, se reporter à l’appendice “Technical

Information”.

Pour fixer la pompe au moyen de sa base, il est nécessaire d'utili-

ser trois vis M4 fixées aux trous prévus à cet effet se trouvant aur

la base de la pompe. Les vis utilisées doivent avoir une limite

d'élasticité de 500 N/mm2 et être fixées à un couple de 0,9 Nm.

Pour l’installation des accessoires en option, consulter “Technical

Information”.

UTILISATION

Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la tur-

bopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle.

Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la

pompe. Pour atteindre de meilleures pressions limite, il est possi-

ble de chauffer le carter de la pompe à l'aide du réchauffeur op-

tionnel. Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la

température de la bride d'entrée ne doit pas dépasser 120°C.

Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations

de chauffage.

Utiliser toujours le refroidissement par eau pendant les opérations

de chauffage.

!

DANGER!

Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éven-

tuels pendant les opérations de chauffage. La température élevée

peut causer des lésions aux personnes.

!

ATTENTION!

Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz

inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée

à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar.

!

ATTENTION!

Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou

déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer.

!

ATTENTION!

Pour le pompage de gaz nocif, utiliser exclusivement les versions

spéciales de la pompe Turbo-V70LP. Ces pompes sont dotées

d'un port ad hoc, à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la

pompe un flux de gaz inerte compris entre 0,4 et 1 mbar l/s.

ENTRETIEN

Les pompes de la série Turbo-V70LP ne requièrent aucun entre-

tien particulier. Toute intervention doit être effectuée par du per-

sonnel agréé.

!

DANGER!

Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débran-

cher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la sou-

pape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor

et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit

inférieure à 50°C.

En cas de panne, il est possible de s'adresser au service répara-

tions Varian ou bien au "Varian advanced exchange service" qui

permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la pompe

détraquée.

NOTE

Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des répara-

tions ou un "advanced exchange service", remplir et faire parve-

nir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à

la présente notice d'instructions. Une copie de cette fiche devra

être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition.

En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination

conformément aux réglementations nationales en la matière.

!

DANGER!

Pour éviter toutes lésions à la personne, ne jamais introduire

- pour quelque motif que ce soit - les doigts ou bien des ob-

jets dans l'entrée de la turbopompe. Il est conseillé d'utiliser

un filet de protection (option). Si l'on utilise un amortisseur de

vibrations ou bien un soufflet métallique flexible sur l'entrée,

fixer toujours la turbopompe à la base.

NON!

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